非标陶瓷件都包括哪些,各有什么作用？

非标陶瓷件都包括哪些,各有什么作用？ 

陶瓷棒：

因各个客户机台使用上的不同，因此会延伸出多种不同外观大小的陶瓷棒。这个部分皆可根据各户的需求进行生产。

陶瓷螺丝
半导体以及光电业机台设备因会需使用酸碱性较高的腐蚀性化学药剂，机台内使用之螺丝也需要考虑到是否可以抗酸碱腐蚀，故许多机台内的螺丝都采用陶瓷螺丝。

聚焦环
主要用在半导体以及光电业蚀刻机台设备，所以机台亦长期与化学药剂接触，故此零件大部分厂商会使用陶瓷或是石英，石英部分较陶瓷不耐碰撞，石英碰撞后容易造成表免剥落状态，上机会造成问题。故目前所知采用陶瓷的厂商已经越来越多。

注入器
在半导体机台设备中扮演着化学气体输出入的角色，因为他长时间都需接触化学气体，故他必须要有耐酸碱耐腐蚀的功能，以免因为他的腐蚀造成机台设备的损伤。工程陶瓷零件的耐腐蚀抗酸碱刚好适合使用。

上下保护环
陶瓷本身无磁性之功能正好符合半导体机台内保护环防止杂讯干扰使用，因机台所需的尺寸大小不同，尺寸部分也会因此不同。这个部分皆可根据各户的需求进行生产。

机械手臂
因半导体机台设备内常使用化学药剂，机台设备所生产之产品又必须要可以转送下一站别，故有了机械手臂这项产品。为了避免机台内的化学药剂对机械手臂产生化学反应，许多厂商已经开始改用陶瓷所生产的机械手臂。


钟罩
会用在反应器系统内，且电浆或是化学气体有时会在此停留，故在钟罩的材质使用上需特别注意耐酸碱耐腐蚀，因此目前有许多半导体设备上所使用之钟罩采用陶瓷材质，钟罩之外表也可以配合另外覆盖其他金属材质。或本司金属钟罩可做陶瓷表面处理。


压紧环
用于光电业前段制程机台设备中，长期会接触化学药剂，陶瓷材质可避免长期接触化学药剂产生腐蚀的现象。